2022年4月1日，中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家，召开了由山东山博电机集团有限公司完成的“高性能磁传感器及磁编码器一体化伺服电机”项目科技成果评价会。专家组听取了项目组的汇报，审阅了相关资料，经质询、讨论，形成评价意见如下：

　　一、项目资料齐全完整，符合科技成果评价的要求。

　　二、项目围绕磁传感器材料、芯片、磁码盘材料及其磁编码器系列产品以及高性能磁传感器及磁编码器一体化伺服电机开展系统研究，取得的主要创新成果如下：

　　1. 研究了磁传感器薄膜材料界面自旋轨道耦合、层间耦合及垂直磁各向异性调控机理，通过优化工艺，制备出了高性能的坡莫合金薄膜材料。

　　2. 研究了高性能磁传感芯片制造工艺及其与磁灵敏度的关系，惠斯通电桥与微加工工艺导致的器件非均一性、静电保护和温度补偿的集成化设计，制备出了高性能磁传感芯片。

　　3. 研究了磁编码器信号录入/输出弦波的稳定性、一致性关系;多道磁极信号录入与编码器输出信号相匹配的位置/速度测量算法;与磁传感器输入/输出信号接口相对应的ASIC驱动电路和处理电路，制备出了高性能磁编码器。

　　4. 研制开发了基于高性能磁传感器及磁编码器一体化伺服电机，通过特殊设计的隔磁隔热机构，结合降低伺服电机的转矩脉动和谐波技术，解决了伺服电机系统中受高速发热和机械振动的影响，提高了电机控制系统频域响应带宽。

　　三、产品经淄博市产品质量检验研究院检测，达到相关标准要求。项目成果已成功应用到数控机床、工业机器人，取得了满意的效果，经济社会效益显著，应用前景广阔。

　　专家组认为：该项目成果填补国内行业空白，达到国际先进水平。

专家组成员

　　王佐勋　齐鲁工业大学教授

　　周风余　山东大学教授

　　宋现春　山东建筑大学教授

　　肖海荣　山东交通学院教授

　　赵建玉　济南大学教授

　　张顺海　山东省科学院自动化研究所研究员

　　张存生　山东省机械设计研究院高级工程师