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光网络用波分复用与解复用芯片关键技术及其产业化项目通过科技成果评价
2018.09.20
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2018年9月20日,中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家,在长沙召开了由湖南新中合光电科技股份有限公司完成的“光网络用波分复用与解复用芯片关键技术及其产业化”项目科技成果评价会。专家听取了项目组的研究汇报,审查了相关资料,经质询和讨论,形成如下评价意见:
1.项目技术资料齐全,符合科技成果评价要求。
2.项目从骨干网络层面上以超长距离、超大容量和超高速率的三“超”新一轮智能光网络通信和分组传送网技术出发,针对光波分复用与解复用器进行了系统研究和攻关,主要创新点如下:
(1)针对光波分复用与解复用芯片制造流程的复杂性,提出了一种短流程平面光波导制造新工艺,从6大步骤19个工序减为4大步骤13个工序,即芯层沉积(含退火、测试)、掩模光刻(含掩模沉积、涂胶、光刻、显影、测试)、刻蚀(含掩模刻蚀、芯层刻蚀、测试、清洗)、包层沉积(含退火、测试);
(2)将可制造性设计(DFM,Design for Manufacturing)引入平面光波导制造工艺流程中,建立了平面光波导制造工艺容差数据库,从光芯片设计到产品全周期建立可制造性管理、分析和评价方法和体系;
(3)针对光波分复用与解复用芯片材料和结构对温度特别敏感而导致波长漂移,提出了基于材料热膨胀系数补偿和平板波导结构优化两种方法,可减小波长漂移、降低芯片的插损。
3.该项目获得了国家发明专利3件,实用新型专利7件,具有自主知识产权。
4.该项目成果经公司应用证明,各项技术指标达到产品设计要求,经济效益及社会效益显著,具有极其广阔的应用前景。
综上所述,与会专家一致认为,该项目技术达到国际先进水平。
专家组成员
张民选 国防科技大学教授
曾 云 湖南大学教授
王志春 湖南省集成电路产业联盟副秘书长
孙克辉 中南大学教授
谢贵久 中电48所科技处处长
曾以成 湘潭大学教授
金湘亮 湖南师范大学教授
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