2021年5月19日，中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家，在昆明召开了由昆明理工大学和昆明冶金研究院有限公司联合完成的“电子级多晶硅化学气相沉积机理及提质降耗研究”项目科技成果评价会。专家审阅了项目方提供的资料，听取了报告，经质询和讨论，形成如下意见：

　　一、项目成果资料齐全规范、数据翔实，符合科技成果评价要求。

　　二、项目在“多场耦合下西门子还原炉内传热和多晶硅化学气相沉积的研究(21566015)”等多项国家级和省部级项目支持下，针对电子级多晶硅领域提质降耗核心关键科学问题，开展了系统的基础研究，主要科学发现如下：

　　1、揭示了多晶硅和杂质的竞争沉积机理及动力学，建立了多晶硅-杂质的传递动力学模型，提出了传递-动力学的协同作用机制。获得了原料(Cl/H)与产物(Si/Cl)间的有机关联，产品纯度由9 N提升到12 N。

　　2、首次提出了多晶硅棒高频交流电加热的趋肤效应，揭示了趋肤效应与热量传递的协同作用机理，探明了直流-交流混合电加热多晶硅棒的热电行为。建立了多物理场耦合作用下热应力模型，获得了热应力的演变机理，使硅棒半径由7 cm增长到10 cm，裂纹率显著降低。

　　3、首次揭示了西门子还原炉能量耗散机理，提出了描述硅棒几何和排布无量纲，获得了对流传热无量纲关联，建立了硅棒排布数学描述，揭示了视角因子和辐射率对辐射传热作用机制，12对棒还原炉能耗由55 kWh/kg-Si降低到44 kWh/kg-Si，24对棒还原炉能耗由49 kWh/kg-Si降低到38 kWh/kg-Si，并在工业生产中得到应用。

　　三、项目研究成果发表学术论文51篇，出版专著1部，获云南省优秀博士学位论文1项，人才培养成效显著。

　　综上所述，专家组一致认为该项目研究总体水平达到国际先进、国内领先水平。

专家组成员

　　苏君红　中国工程院院士、中国兵器工业昆明物理研究所高级工程师

　　臧　健　云南冶金集团股份有限公司教授级高级工程师

　　张廷安　东北大学教授

　　兰尧中　云南大学教授

　　陈家林　昆明贵金属研究所所长、教授级高级工程师