北京航空航天大学等“超高真空磁悬浮复合分子泵”科研项目通过科技成果评价
2017.10.19
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2017年10月18日，第三方专业科技成果评价机构——中科合创（北京）科技成果评价中心在北京依据科技部《科学技术评价办法》的有关规定，按照科技成果评价的标准及程序，本着科学、独立、客观、公正的原则，组织专家对北京航空航天大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司和北京海斯德电机技术有限公司共同完成的“超高真空磁悬浮复合分子泵”项目进行了科技成果评价。
据悉，此次评价会的专家由中国空间技术研究院514所研究员卢耀文，中国科学院系统科学研究所研究员张纪峰，清华大学计算机科学与技术系教授孙富春，北京理工大学自动化学院教授夏元清，中国航天电子技术研究院13所研究员姚竹贤，中国科学院电子学研究所研究员王勇，中国计量科学研究院研究员陈大舟等组成。
经过专家评审，认为该项目提出了一种基于三元流体理论的大抽速复合转子优化设计方法，突破了转子装配体模态、多级叶片强度、热辐射等多物理场综合优化技术瓶颈，解决了磁悬浮复合分子泵的大抽速和超高真空两类指标兼顾的难题。发明了一种径/轴向一体化三自由度混合磁轴承结构，减小了磁悬浮轴承体积，提高了承载比，提出了基于磁悬浮轴承的复合转子现场动平衡和主动振动控制方法，解决了分子泵的极微振动控制难题，泵体振动位移小于0.012um，达到国际领先水平。发明了基于电机能量回馈控制的磁轴承电力失效补偿装置，采用提出的反电动势主动控制方法，机械能至电能的转换效率提高了25%，显著增强了分子泵运行的可靠性。研制成功了DN400CF型大抽速超高真空磁悬浮分子泵，在中国科学院电子学研究所中温真空炉、中国科学院半导体研究所EB700镀膜系统等用户进行了使用，大幅提高了真空设备的极限真空度和抽气速率。项目系统复杂、技术难度很大、创新性很强，具有完全自主知识产权，研制的国内抽速最大、极限真空度最高的超高真空磁悬浮复合分子泵，填补了国内在同类产品的空白，总体技术水平达到国际先进水平，其中泵体振动位移技术指标达到国际领先水平。经专家组全面审核，与会专家一致同意，“超高真空磁悬浮复合分子泵”项目通过科技成果评价。
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