2022年5月26日，中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家，召开了由厦门柯尔自动化设备有限公司完成的“液晶显示屏压痕导电粒子检测技术”项目科技成果评价会。专家组听取了项目组的成果汇报，审阅了相关技术资料，经质询和讨论，形成意见如下：

　　一、提供的技术资料齐全，符合科技成果评价要求。

　　二、针对液晶显示屏面板导电粒子检查困难的问题，采用显微检查的方法，对光学显微镜和计算机光电转换有机结合技术进行了系统研究和实践。主要技术创新点如下：

　　1.自主设计了微分干涉显微光路，将目镜采用电荷耦合器件，组成自动显微镜系统，扫描速度达到200mm/s，平面电测精度X±2μm、Y±2μm。

　　2.提出了前置对焦方法，采用激光位移传感器侦测被待检物表面高度，显微镜依据侦测高度自动对焦补偿，检查全过程取图清晰，可检出粒子尺寸≥3μm，阈值5颗误报率≤0.1%，阈值10颗误报率≤0.2%，裂纹及破片检出≥10μm，误报率≤1%。

　　三、该项目成果已用于液晶显示屏面板导电粒子检查、印刷电路板导电粒子检查等，经济、社会与环境效益显著。

　　经专家组认为，该成果总体达到国内领先水平。

专家组成员

　　刘俊岐　中国科学院半导体研究所研究员

　　胡　平　清华大学化学工程系教授

　　詹茂盛　北京航空航天大学材料科学与工程学院教授

　　陈大舟　中国计量科学研究院研究员

　　陈黎明　上海交通大学教授

　　苏　波　首都师范大学物理系教授

　　王　毅　工业和信息化部电子工业标准化研究院高级工程师