2023年4月18日，中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家，在昆明召开了由昆明理工大学、隆基绿能科技股份有限公司、丽江隆基硅材料有限公司、普洱学院共同完成的“大尺寸P型单晶硅高效拉晶关键技术及应用”项目科技成果评价会。专家审阅了项目方提供的资料，听取了技术总结报告，经质询，答疑和讨论，形成如下意见：

　　一、项目成果资料齐全规范、数据翔实，符合科技成果评价要求。

　　二、在国家科技支撑计划、国家自然科学基金和云南省科技重大专项等项目的支持下，针对大尺寸P型单晶硅直拉法生产中存在有害同心圆缺陷、坩埚寿命短、掺杂不均等行业共性关键难题，重点开展了相关传热机制、单炉多棒拉晶、掺镓均匀性及热场装备等开发研究，攻克了P型M10(182╳182mm²)单晶硅棒高效拉晶关键技术，实现了工业化应用。主要的创新性和先进性如下：

　　1. 率先开发出P型M10单晶硅棒热场系统与拉晶集成技术;研制了新型主加热器和热场保温等设备，设计了热加距等优化工艺。P型M10单晶硅棒产品少子寿命≥150μs，电阻率0.4-0.9 Ω·cm;头部氧含量≤16ppma，碳含量<1ppma，解决了大尺寸P型单晶硅生长过程中的有害同心圆缺陷问题。

　　2. 发明了石英坩埚内壁涂层和硅料复投耦合新技术。采用石英坩埚内表面掺杂碳酸钡涂层、连续炉外和炉内复投料等技术及配套加料装置，坩埚寿命提升至550-600 h，投料量可达3500kg，首次突破了“单炉十棒”高效拉晶关键技术及装备。

　　3. 研发了两段变速拉晶新工艺，有效改善了熔体中掺杂剂均匀性，硅棒径向电阻率头部边缘达0.83Ω·cm，中心达0.77Ω·cm，轴向头尾电阻比1.86。

　　三、项目成果自2020年开始应用以来，已在丽江隆基硅材料有限公司、保山隆基硅材料有限公司等企业建成105GW/a生产线，实现新增销售收入960多亿元，新增就业岗位1.1余万个，经济和社会效益显著。

　　四、成果获授权发明专利15件、实用新型专利17件;发表论文12篇;“大尺寸硅片技术”已列入《中国禁止出口限制出口技术目录》(2023年)。

　　综上所述，专家组一致认为该成果整体技术达到国际领先水平。

　　建议进一步加大推广应用。

专家组成员

　　柴立元　中国工程院院士、中南大学副校长

　　余学功　浙江大学教授

　　王　冲　云南驰宏锌锗股份有限公司正高级工程师

　　王金淑　北京工业大学教授

　　王　志　中国科学院过程工程研究所研究员

　　臧　健　云南冶金集团股份有限公司正高级工程师

　　柳清菊　云南大学教授